Maailmanlaajuisen puolijohdeprosessin siirtyessä kohti edistyneitä 3 nm/2 nm solmuja, tarkkuustitaanimateriaalit (ASTM B265/B348, 1/2/5 korkean -puhtausluokan titaani ja titaaniseokset) ovat muuttumassa "apumateriaaleista" keskeisiksi strategisiksi materiaaleiksi, kuten puolikonttoriin, kuten 8. puhtaus, erittäin-vähän epäpuhtaudet, vahva lämpöstabiilisuus, korroosionkestävyys ja ei--magneettiset ominaisuudet. Markkinoiden huomio ja kysyntä kasvavat synkronisesti.
Ydinohjain: Kehittyneet prosessit pakottavat materiaalien päivittämiseen
Kehittyneet puolijohdeprosessit (5 nm ja alle) vaativat kolme suurta kovaa ydinvaatimusta materiaaleille: nanometritason tarkkuus, atomitason puhtaus ja äärimmäinen ympäristövakaus:
-Korkeapuhtainen titaanikohdemateriaali (luokka 1, puhtaus suurempi tai yhtä suuri kuin 99,999 %/5N): PVD-sputteroiva ydinmateriaali, käytetään kupariliitossulkukerrokseen, kontaktitulppaan, joka estää kupariatomin diffuusiota saastuttamasta piikiekkoja. Se määrittää suoraan sirun tuoton ja suorituskyvyn3, sopii koko nm1-prosessiin0.
-Tarkkuusrakenneosat (luokka 2/5): litografiakoneen työpöytä, etsauskoneen kammio, tyhjiölaippa, kiekkorobottivarsi jne., joissa on alhainen lämpölaajenemiskerroin (8,6 × 10 ⁻⁶/aste) ja lämpötilan vaihtelu, joka varmistaa vain 1/3 alumiinisen asennon muodonmuutoksen.
-Korroosionkestävät komponentit (luokka 7): Kestää vahvaa happo-/halogeenikorroosiota märkäsyövytys- ja puhdistuslaitteissa, ilman metallisaostumista, sopii suurtyhjiöön ja vahvaan plasmaan äärimmäisiin työolosuhteisiin.
Amerikkalaisten standardien titaanimateriaalien tärkeimmät edut
1. Erittäin puhdas + erittäin -vähän epäpuhtaudet: amerikkalaisen standardin luokan 1 korkean-puhtauden titaani kontrolloitavilla happi-/typpi-/hiiliepäpuhtauksilla<50ppm, no heavy metal pollution such as iron and nickel, meets SEMI F42 standards, and is suitable for advanced process atomic level cleanliness requirements.
2. Lämpöstabiilisuus + mittatarkkuus: alhainen lämmönjohtavuus (21,9 W/(m · K)), pieni lämpölaajenemiskerroin, toleranssi jopa ± 0,005 mm, pinnan sileys Ra Alle tai yhtä suuri kuin 0,4 μm, sopii nanomittakaavan kokoonpanoon ja tyhjiötiivistykseen.
3. Korroosionkestävyys+ei--magneettinen+vähäkaasupäästö: luonnollinen oksidikerroksen itsestään-parantuva, kestävä Cl ₂/F ₂/vahvahappokorroosiota vastaan; Ei-magneettinen ja ei häiritse tarkkuuspiirejä; Ilman vapautumisnopeus on erittäin alhainen ultra-korkeassa tyhjiössä (UHV), mikä varmistaa kammion puhtauden.
4. Kevyt ja suuri lujuus: Tiheys 4,51 g/cm³ (40 % kevyempi kuin ruostumaton teräs), luokka 5 vetolujuus suurempi tai yhtä suuri kuin 930 MPa, ominaislujuus kaksi kertaa ruostumattoman teräksen, sopii nopeiden liikkuvien osien keveysvaatimuksiin.
Ydinsovellusskenaariot
-Korkeapuhtainen titaanikohdemateriaali (luokka 1): PVD-sputterointipinnoitus, jota käytetään logiikka/tallennussirun sulkukerrokseen ja liimakerrokseen, maailmanlaajuisten markkinoiden koko 1,87 miljardia Yhdysvaltain dollaria vuonna 2024 ja CAGR 9,3 % vuosina 2026–2030.
-Tyhjiökammio/laippa (luokka 2): Tyhjiöjärjestelmä syövytys- ja pinnoituslaitteistoille, kestää korkeaa painetta, vähän kaasua vapautuu ja luotettavasti tiivistyy.
-Tarkka robottivarsi/pääteefektori (luokka 5): kiekkojen siirto, kevyt ja korkea{2}}lujuus, tarkka paikannus, ei hiukkasten irtoamista.
-Korroosionkestävä vuoraus/kiinnitys (luokka 7): Märkäprosessilaitteet, jotka kestävät vahvoja happoja, kuten HF/HCl, pidentää laitteen käyttöikää ja alentaa ylläpitokustannuksia.
Markkinatrendi: kotimainen korvaaminen + teknologinen läpimurto
Maailmanlaajuisen puolijohdekapasiteetin kasvu (etenkin Manner-Kiinassa) on johtanut tarkkuustitaanimateriaalien kysynnän nopeaan kasvuun. Vuonna 2023 Kiinan puolijohteisiin tarkoitettujen titaanisten tarkkuusosien markkinakoko ylittää 3 miljardia yuania, ja vuotuinen kasvuvauhti on yli 25 %. Amerikkalaisen luokan 1/2/5 tarkkuustitaanimateriaalien (mukaan lukien 0,05 mm:n ultra-ohut titaanifolio, erittäin-puhtaat kohdemateriaalit ja tarkat rakenneosat) vakaa massatuotanto on saavutettu. Toleranssit ja puhtaus ovat saavuttaneet kansainväliset edistyneet tasot, mikä auttaa puolijohdeteollisuutta hallitsemaan itsenäisesti.
Edistyneiden prosessien ja kotimaisen kaksoisvetojärjestelmän korvaamisen myötä amerikkalaiset standardit täyttävistä tarkkuustitaanimateriaaleista on tullut puolijohdeteollisuuden päivityksen ydintuki. Jatkossa ne jatkavat läpimurtoa kohti korkeampaa puhtautta (6N), ohuempia määrityksiä (vähemmän kuin 0,05 mm) ja tarkempaa koneistusta (± 0,002 mm).
Pyydä tarjous
Sähköposti:bjcxtitanium@gmail.com
Whatsapp:+8613571718779
